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                            热处理

                             

                            技术参数

                               

                            工作温度[]

                            500 - 1320

                            500 - 1320

                            最高淬火压力(绝对值)

                            12

                            1.9

                            工作真空度范围[mbar]

                               

                            低真空

                            10-1

                            10-1

                            高真空

                            10-4

                            10-5

                            有效工作区(W x L x H) [mm]

                            610 x 910 x 610

                            910 x 1220 x 910

                            最大装炉量[kg]

                            800

                            1350

                            加热元件材料

                            石墨

                            隔热层

                            特殊石墨毡,可选择覆盖CFC

                            +不锈钢

                            机械泵抽气速率[m3/h]

                            200

                            300

                            罗茨泵抽气速率[m3/h]

                            500

                            1000

                            机械泵抽气速率(可?。?/span>[m3/h]

                            300

                            300

                            罗茨泵抽气速率 (可?。?/span>[m3/h]

                            1000

                            1000

                            扩散泵抽气速率(可?。?/span>[L/sec]

                            10000

                            10000

                            维持泵抽气速率(可?。?/span>[m3/h]

                            4

                            32

                            控制系统

                               

                            总连接负荷[kVA]

                            190

                            290

                            气冷风机负荷[kW]

                            115

                            75

                            最小水压[bar]

                            3.5

                            2.75

                            最大水流量[m3/h]

                            40

                            50

                            温度均匀性[]

                            正负5度

                            正负5度

                             

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